Комплексная безопасность 2011
Комплексное использование вторичных ресурсов
Экология большого города
10_Чистая вода
Тест-объект — мера Специальная МШПС-2.0К
Рейтинг: / 2
ХудшаяЛучшая 

Финансирование разработки

Начало НИОКР — до 2007 г.

Источники финансирования: бюджетные ресурсы — 70 %; внебюджетные — 30 %.

Краткое описание

Тест-объект состоит из нанорельефных шаговых структур, сформированных на поверхности кремния, и предназначен для калибровки (поверки) средств измерений линейных размеров — растровых электронных (РЭМ) и атомно-силовых (АСМ) микроскопов, применяемых в микро- наноэлектронике и нанотехнологиях. Освоен выпуск малой серии. На данную разработку выдан патент Российской Федерации на изобретение № 2325619 с приоритетом от 19.04.2006.

Тест-объект позволяет определять все параметры микроскопов, является единой мерой для РЭМ и АСМ с идеальной формой рельефа. Это — единственная в мире мера ширины линии в нанодиапазоне (от 5 нм до 700 нм). Не имеет аналогов в мире. На основе меры разработаны и введены в действие 7 национальных стандартов РФ (ГОСТ Р): 8.628-2007, 8.629-2007, 8.630-2007, 8.631-2007, 8.635-2007, 8.636-2007, 8.644-2008.

Конкурентные преимущества

Тест-объект МШПС-2.0К позволяет проводить полную калибровку РЭМ и АСМ (включая измерения размера зонда микроскопа) для измерения на них линейных размеров элементов рельефа, лежащих в широком диапазоне 5 нм — 100 мкм, включая ширину линии вплоть до 20 нм.

В настоящее время отсутствуют другие тест-объекты, с помощью которых можно измерять ширину линии менее 100 нм. Тест-объект МШПС-2.0К позволяет осуществлять калибровку растровых электронных микроскопов (так называемых CD SEM), работающих в линии производства микросхем с критическими размерами (КР) вплоть до 5 нм, что обеспечивает не только современное производство (КР=32 нм), но и на ближайшие 10 лет. Тест-объект прошёл международные сличения.

Научная значимость

С мировым приоритетом создана серия тест-объектов МШПС-2.0К нанорельефа поверхности твёрдого тела с использованием природных констант вещества. Тест-объекты выполнены из монокремния и представляют собой шаговые рельефные структуры — выступы и канавки, с трапециевидным профилем, каждая сторона которых совпадает с кристаллографическими плоскостями (111) или (100) кремния. Аттестованными (эталонными) параметрами тест-объектов являются шаг, размеры верхних и нижних оснований выступов и канавок, высота (глубина) рельефа и проекции боковых наклонных стенок на плоскости основания структуры. В серии все тест-объекты имеют один и тот же размер шага, но отличаются размерами ширины выступов, лежащих в диапазоне 5—700 нм, и глубин рельефа, лежащих в диапазоне 100—1500 нм.

Технология производства тест-объекта содержит несколько «ноу-хау». Передача права (продажа) данных «ноу-хау» не предполагается. Осуществляется продажа тест-объектов, выпускаемых малой серией.

Примеры практического применения

Тест-объектом МШПС-2.0К оснащаются Центры коллективного пользования (ЦКП) уникальным оборудованием, Научно-образовательные центры (НОЦ), где ведётся подготовка кадров для нанотехнологий, и Сертификационные центры продукции наноиндустрии. Стоимость тест-объекта МШПС-2.0К — 1 млн. рублей вместе с программным обеспечением обработки результатов, получаемых на РЭМ и АСМ. Тест-объект МШПС-2.0К выпускается малой серией.

География рынка сбыта

Тест-объекты МШПС-2.0К реализуются в России, Белоруссии, Германии. Планируется реализация в США, Японии и Китае.

Объём рынка сбыта

Ориентировочный объём рынка сбыта — 30 млн. руб. Срок выполнения заказа составляет 1 месяц, стоимость изделия с программным обеспечением — 1 млн.руб.

Экономический эффект составляет более 15 млн. руб. в год.

Разработчик

Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума (ОАО «НИЦПВ»)